组成件 | 功能说明 | 关键参数/选型要点 |
|---|---|---|
真空泵 | 提供抽气动力,常用旋片泵(粗真空)或罗茨泵+旋片泵(高真空) | 抽速 8~300 L/s,上限真空 0.5~5 Pa,油泵需定期换油 |
真空管路 | 连接真空泵—阀组—加注头—工件,全程密封 | 不锈钢管或氟橡胶软管,尽量少弯头,内径匹配抽速 |
真空电磁阀/气动阀 | 控制抽真空通路的通断 | 常闭型,带反馈信号,密封等级≤1×10⁻⁵ Pa·m³/s |
真空传感器/真空表 | 实时检测工件内真空度 | 电阻真空计或电容薄膜规,精度±5% |
气液分离器 | 防止工件内残留液体被抽入真空泵 | 不锈钢罐体,带排液阀 |
破空阀 | 加注完成后向工件回充氮气或干燥空气至常压 | 带过滤和调压,防止湿空气回灌 |

组成件 | 功能说明 | 关键参数/选型要点 |
|---|---|---|
储液罐(主罐) | 存放大批量介质,带液位计和搅拌(防沉淀) | 容积 20~200 L,304/316L 不锈钢,承压 0.6 MPa |
脱气罐/缓冲罐 | 介质加注前二次脱气,减少溶解空气 | 常配真空脱气或超声波脱气 |
供液泵 | 将介质从储液罐送至加注头(齿轮泵/隔膜泵/磁力泵) | 流量匹配节拍,耐腐蚀,无脉动优先齿轮泵 |
过滤器 | 过滤介质中杂质,保护加注头和工件 | 精度 5~50 μm,视介质而定 |
恒温装置 | 保持介质温度稳定(如冷冻油 40±2℃,电解液 25±1℃) | 夹套或盘管换热,带 PID 温控 |
液位与压力传感 | 监测储液罐液位和管路压力 | 防干转、防超压 |

组成件 | 称重式方案 | 流量计式方案 |
|---|---|---|
计量主体 | 高精度称重传感器(平台秤或悬挂秤) | 质量流量计或体积流量计 |
分辨率 | 0.1~1 g | 0.1~1 g(质量流量)或 0.01 mL |
加注阀 | 气动截止阀+微调阀(粗加+精加两段) | 同左 |
加注头/注液针 | 快换密封头,带止回阀和吹气功能 | 同左 |
典型精度 | ±0.1%~±0.3% FS | ±0.2%~±0.5% FS |
适用 | 高精度定量 | 大流量连续加注 |
组成件 | 功能说明 |
|---|---|
加注夹具/工装 | 定位工件,压紧密封口(气动或伺服夹紧) |
快换接头 | 与工件注液口对接,有螺纹式、卡扣式、仿形密封式 |
双密封回路 | 外圈抽真空,内圈加注,互不串气(核心设计) |
吹气/回吸装置 | 加注完毕吹净注液针残液,防止滴漏 |
工件识别 | 条码/RFID读取工件型号,自动调用加注配方 |
组成件 | 功能说明 |
|---|---|
PLC/工业控制器 | 逻辑控制:抽真空→保压检漏→破空/加注→回吸→复位 |
触摸屏/HMI | 参数设置、配方管理、报警显示、数据追溯 |
传感器采集 | 真空度、重量/流量、温度、压力、液位、气缸位置 |
执行元件控制 | 控制真空阀、加注阀、供液泵、夹具气缸、破空阀 |
通讯接口 | 以太网/Profinet/Modbus TCP,与产线 MES 对接 |
急停与安全继电器 | 双手启动、安全门联锁、急停硬线回路 |
组成件 | 功能说明 |
|---|---|
防爆设计 | 涉易燃介质(如某些制冷剂、电解液溶剂)时,电气元件防爆、真空泵排气处理 |
泄漏检测 | 管路和接头处设气体/液体泄漏传感器,联动停机 |
废液收集 | 气液分离器排液、维护排液统一收集至废液桶 |
声光报警 | 真空度不达标、加注超差、门未关、急停触发 |
机架与外壳 | 铝型材或钣金机架,带脚轮(移动式)或地脚(固定式),不锈钢台面易清洁 |
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